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順義區融媒體中心消息 隨著我國半導體產業快速發展，質譜儀作為芯片制造過程中的關鍵檢測設備，其國產替代意義重大。北京萊伯泰科儀器股份有限公司（以下簡稱“萊伯泰科”）質譜研發部產品經理王娟帶領團隊迎難而上，破解質譜儀研發難題，為國產質譜儀的發展貢獻了智慧與力量。
LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯質譜儀
萊伯泰科是一家專業從事實驗分析儀器研發、生產和銷售的科技型公司，王娟現擔任公司質譜研發部高級產品經理。她曾在多家跨國儀器公司從事質譜產品的技術支持、產品開發、行業方案制定等工作，具有豐富的質譜產品開發和應用工作經驗。加入萊伯泰科4年多以來，王娟作為主要項目參與者，與團隊成員一起攻關研發了單四極桿質譜、串聯三重四極桿質譜等。
在2023年度中國檢驗檢測學會科學技術獎獲獎評選中，萊伯泰科憑借其《硅片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》榮獲科學技術進步獎二等獎，這一項目的帶頭人正是王娟。
過去，我國半導體行業中高端質譜儀完全依賴進口。王娟團隊從2019年開始專攻電感耦合等離子體質譜的研發，歷經艱辛終于成功推出LabMS 3000單四極桿電感耦合等離子體質譜儀。隨后，團隊又開展了電感耦合等離子體串聯四極桿質譜儀、電感耦合等離子體四極桿-飛行時間質譜儀的研發，并于2023年推出深度進軍半導體行業的LabMS 5000電感耦合等離子體串聯四極桿質譜儀，打破了國外公司在該市場一家獨大的局面。
王娟（右）和團隊成員溝通設計細節
國產質譜儀能夠與進口設備抗衡，關鍵在于自主創新。王娟團隊在LabMS 5000電感耦合等離子體串聯四極桿質譜儀的軟硬件設計上進行了大膽突破，使其擁有了更高的靈敏度、更低的檢出限和更快的分析速度。該產品符合SEMI S2認證，滿足了半導體制程高級別制造客戶的要求。
談及研發國產質譜儀的初心，王娟表示，團隊懷揣著使命感，希望為國產半導體產業鏈自主可控盡一份力，在壓力和迫切感之下，團隊成員不斷學習、提高自己的能力，與產品共同成長。
目前，萊伯泰科與國內頭部晶圓企業建立了合作關系，計劃將LabMS 5000電感耦合等離子體串聯四極桿質譜儀輻射到半導體上下游產業單位。王娟表示，團隊將針對行業特點開發濕電子化學品、實時在線晶圓中超痕量元素等分析方法，為半導體制程中的質量控制提供技術支撐，助力半導體行業發展。
王娟（右二）和團隊成員討論技術難點
隨著半導體行業對質譜檢測需求的不斷提升，國產質譜儀的市場規模也將持續擴大。王娟充滿信心地說：“萊伯泰科質譜研發團隊將繼續加大研發投入，提升國產高端串聯質譜儀器的性能，為半導體行業提供更全面、高效的解決方案，鞏固國產質譜儀在高端檢測領域的地位。”
在萊伯泰科和王娟帶領的質譜研發團隊不懈努力下，國產質譜儀正逐漸引領行業發展，成為推動我國半導體產業發展不可或缺的力量。
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